[发明专利]晶棒表面之调质方法及其晶棒有效
| 申请号： | 201210011835.8 | 申请日： | 2012-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN103194802A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 陈炤彰;郑世隆;刘建亿;陈钰麟;黄国维;郑守智 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215316 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶棒表面之调质方法，包含以下步骤：步骤一：提供一晶棒，并以一盖体罩盖该晶棒；步骤二：利用一加热单元将该晶棒加热至一预定温度并持温一段时间；及步骤三进行一冷却步骤，以将该晶棒冷却；其中，该盖体至少具有一部分的透明区域，使该加热单元的热辐射透过该透明区域而对该晶棒进行加热，藉此，晶棒表面的损伤层可藉由此一退火制程而加以消除。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 方法 及其 | ||
【主权项】：
一种晶棒表面之调质方法，包含以下步骤：提供一晶棒，并以一盖体罩盖该晶棒；利用一加热单元将该晶棒之至少一表面加热至一预定温度并持温一段时间，同时利用一冷却单元针对不需改质的该晶棒的其它表面进行控温；以及进行一冷却步骤，以将该晶棒冷却；其中，该盖体至少具有一部分的透明区域，使该加热单元的热辐射透过该透明区域而对该晶棒进行加热。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山中辰矽晶有限公司，未经昆山中辰矽晶有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210011835.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：稀土元素的分离回收方法
- 下一篇：一种重力式基础的拖航方法
