[发明专利]一种镍铁合金蒸镀掩模板的制备方法无效
申请号: | 201210010761.6 | 申请日: | 2012-01-16 |
公开(公告)号: | CN103205782A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;王峰;孙倩 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C25D1/00 | 分类号: | C25D1/00;C25D3/56;C23C14/04 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种镍铁合金蒸镀掩模板的制备方法,所述掩模板为采用电铸工艺制作的镍铁合金材料掩模板;所述镍铁合金材料包括镍和铁两种元素,其铁元素的含量为40%~55%;所述镍铁合金材料的制备方法为:采用电铸方法,以硫酸盐体系作为电铸液,金属阴阳极置于电铸液中,并在阴极沉积镍铁合金;所述电铸液具体包括:180~200g/L的硫酸镍、30~50g/L的氯化镍、40~50g/L的硼酸、14~17g/L的硫酸亚铁。本发明使用电铸工艺来代替蚀刻工艺,得到的产品开口质量好,光滑、无毛刺,精度高;该工艺减少镍的使用量,节省成本,减轻三废治理负担;该工艺可得到铁含量在40%~55%范围的合金镀层,即能够得到不同磁性能的大平面金属掩模镀层。 | ||
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【主权项】:
一种镍铁合金蒸镀掩模板的制备方法,其特征在于,所述掩模板为采用电铸工艺制作的镍铁合金材料的掩模板;所述镍铁合金材料包括镍和铁两种元素组成,其铁元素的含量为40%~55%;所述镍铁合金材料的制备方法为:采用电铸方法,以硫酸盐体系作为电铸液,金属阴阳极置于电铸液中,并在阴极沉积镍铁合金;所述电铸液具体包括:180~200g /L的硫酸镍、30~50g/L的氯化镍、40~50 g/L的硼酸、14~17g /L的硫酸亚铁。
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