[发明专利]一种具有多种刻蚀模式的刻蚀系统无效
| 申请号： | 201210008576.3 | 申请日： | 2012-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN103204633A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 何光俊;姚志涛 | 申请（专利权）人： | 上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201614 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有多种刻蚀模式的刻蚀系统，由刻蚀酸箱，泵，挡板，传动辊道，压水辊，喷嘴和水槽组成，刻蚀酸箱通过管路依次连接泵和喷嘴；水槽内设有传动辊道，传动辊道上有压水辊，传动辊道与压水辊在水槽内形成一个刻蚀溶液槽；所述刻蚀溶液槽的外围两边各固定一块挡板。本发明能够实现喷淋模式、浸泡模式，以及结合喷淋和刻蚀的模式，具有刻蚀溶液浓度稳定和流动性小的特征,这能够有效地解决刻蚀工艺中遇到的大面积均匀刻蚀和高产出的技术难题，非常适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多种 刻蚀 模式 系统 | ||
【主权项】：
一种具有多种刻蚀模式的刻蚀系统，由刻蚀酸箱，泵，挡板，传动辊道，压水辊，喷嘴和水槽组成，其特征在于：刻蚀酸箱通过管路依次连接泵和喷嘴；水槽内设有传动辊道，传动辊道上有压水辊，传动辊道与压水辊在水槽内形成一个刻蚀溶液槽；所述刻蚀溶液槽的外围两边各固定一块挡板。
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