[发明专利]介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置有效
申请号: | 201210006023.4 | 申请日: | 2012-01-10 |
公开(公告)号: | CN102448239A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 段忆翔;赵卫;汤洁;王屹山 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 徐平 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置,对背景技术中的技术方案进行改进,以显著降低能耗。该介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置在进气端口与主放电电极的位置之间还设置有用以对工作气体进行预电离的一对平板电极,平板电极与主放电沿工作气体流速方向的间距不小于1mm,平板电极的放电端面设置有绝缘层。本发明主放电或产生刷状等离子体的起始电压更低,正常辉光放电时额定工作电压和电流更小,等离子体放电的能量更少,消耗在限流电阻上的焦耳热也更少,可以延长主放电电极和限流电阻的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 介质 阻挡 放电 增强 低温 等离子体 电刷 发生 装置 | ||
【主权项】:
介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置,包括具有进气端口和出气端口的主体腔室和一对主放电电极,主体腔室由绝缘材料制成;所述出气端口为窄缝状,主体腔室内靠近该出气端口的部分形成窄缝腔体,出气端口的宽度与厚度之比为5~100;所述主放电电极的放电端位于所述窄缝腔体处;其特征在于:在进气端口与主放电电极的位置之间还设置有用以对工作气体进行预电离的一对平板电极,平板电极与主放电沿工作气体流速方向的间距不小于1mm,平板电极的放电端面设置有绝缘层。
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