[发明专利]介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置

权利要求书

1.介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，包括具有进气端口和出气端口的主体腔室和一对主放电电极，主体腔室由绝缘材料制成；所述出气端口为窄缝状，主体腔室内靠近该出气端口的部分形成窄缝腔体，出气端口的宽度与厚度之比为5～100；所述主放电电极的放电端位于所述窄缝腔体处；其特征在于：在进气端口与主放电电极的位置之间还设置有用以对工作气体进行预电离的一对平板电极，平板电极与主放电沿工作气体流速方向的间距不小于1mm，平板电极的放电端面设置有绝缘层。

2.根据权利要求1所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：主体腔室内自进气端口至出气端口逐渐收缩或趋于扁平，或者主体腔室内整体即为窄缝腔体。

3.根据权利要求2所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：所述主体腔室内整体为长方体的窄缝腔体，平板电极的金属表面沿长方体宽边平行紧贴窄缝腔体外壁上，窄缝腔体的腔壁作为平板电极介质阻挡放电的绝缘介质层。

4.根据权利要求1至3任一所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：主放电电极的回路上还串联有限流电阻。

5.根据权利要求4所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：为平板电极提供放电电压的电源采用交流电源，交流电源的频率从工频至13.56MHz的射频范围内可调；电源模式为连续或脉冲形式；其中，平板电极的的放电电流有效值不大于10mA。

6.根据权利要求5所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：平板电极介质阻挡放电功率不大于1W，工作气体流速为1～100L/min。

7.根据权利要求6所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：所述主体腔室由聚四氟乙烯、绝缘陶瓷或两者的混合材料制成。

8.根据权利要求7所述的介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置，其特征在于：所述主放电电极和平板电极均为铜、铝、钨、镍、钽、铂或其合金制成的电极，两个主放电电极相互正对的放电端面为平面或针尖状。