[发明专利]太阳能电池片的扩散方法无效
| 申请号： | 201210002878.X | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102509703A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 李新富 | 申请（专利权）人： | 浙江金贝能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/228 | 分类号： | H01L21/228 |
| 代理公司： | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人： | 李大刚 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池片的扩散方法，该方法将太阳能电池片放入扩散炉中，升温至预定温度，并向扩散炉通入大氮、氧气和小氮进行扩散；其中大氮的通入流量为10～15L/min，氧气的通入流量为0.4～0.6L/min，小氮的通入流量为0.5～0.8L/min；且扩散时间约为20～30min。本发明不仅能够提高太阳能电池片的性能，而且降低了生产成本，具有优越的整体经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 扩散 方法 | ||
【主权项】：
太阳能电池片的扩散方法，其特征在于：该方法将太阳能电池片放入扩散炉中，升温至预定温度，并向扩散炉通入大氮、氧气和小氮进行扩散；其中大氮的通入流量为10～15L/min，氧气的通入流量为0.4～0.6L/min，小氮的通入流量为0.5～0.8L/min；且扩散时间为20～30min。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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