[发明专利]转印模具的制造方法、利用该方法制造的转印模具以及利用该转印模具制造的零件无效

专利信息
申请号: 201180074858.7 申请日: 2011-11-15
公开(公告)号: CN104024487A 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 佐野孝史;寺田常徳 申请(专利权)人: 株式会社LEAP
主分类号: C25D1/10 分类号: C25D1/10;B29C33/38
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 日本神奈川县横*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种转印模具、与利用该转印模具制造的零件,该转印模具用以借由电铸造来形成零件,富有耐久性且可取得纵横比。包括如下的步骤:于金属基板10上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤,上述零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比,且上述零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有所期望的角度α;借由电铸造来将零件形状的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止,以制造转印模具的步骤;以及使上述转印模具离开金属基板,以制造母料模具20的步骤。
搜索关键词: 印模 制造 方法 利用 以及 零件
【主权项】:
一种转印模具的制造方法,其特征在于包括:于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤,上述零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比,且上述零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有所期望的角度α;借由电铸造来将上述零件形状的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止,以制造转印模具的步骤;以及使上述转印模具离开上述金属基板,以制造母料模具的步骤。
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