[发明专利]用于将四氯化硅转换成三氯硅烷的装置及方法有效
| 申请号： | 201180072986.8 | 申请日： | 2011-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103987453B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | S·法伦布鲁克;B·黑兹尔坦;A·施魏恩;S·斯金纳 | 申请（专利权）人： | GTAT公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将四氯化硅(STC)转换成三氯硅烷(TCS)的装置及相关联方法。转换器以环绕一反应室的一相对薄环形加热区为特征。在该环形加热区内围绕该反应室具有一环形构形的一加热组件。设计允许高对流热传递，其促成较低加热组件表面温度的使用、延长设备的寿命、借由允许使用一较小反应器来减小资本成本且极大地改进加热效率。具有多个热交换器区块的一热交换器提供进一步效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氯化 转换 成三氯 硅烷 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于氯硅烷的氢化的装置，该装置包括：一热交换器，其经组态以在一反应物气体与一产物气体之间交换热，其中该反应物气体包括氢及氯硅烷；一环形加热区，其经组态以自该热交换器接收该反应物气体，该加热区包括具有一环形构形且经组态用于与该反应物气体直接接触以经由对流热传递产生一经加热反应物气体的一加热组件；及一反应室，其经组态以自该环形加热区接收该经加热反应物气体且将该经加热反应物气体转换成该产物气体，其中该加热组件围绕该反应室具有一环形构形，其中该加热组件的一热传递面积与可用于流过该环形加热区的一剖面面积的一比率是大于50。
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