[发明专利]激光输出测量机构有效
申请号: | 201180072290.5 | 申请日: | 2011-10-11 |
公开(公告)号: | CN103649696A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 正田史生;深堀秀则;柳泽隆行;矢部实透;西村哲也;山本修平;井上阳子;船仓哲生 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 金春实 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 具备:光分离器(2),在绕入射的激光的光轴(6)以规定的角度进行旋转的状态下配置,并根据依赖于在反射面上的该激光的偏振方向以及入射角度的菲涅尔反射率来反射该激光的一部分;以及光检测器(4),测量通过光分离器(2)反射的激光的强度。 | ||
搜索关键词: | 激光 输出 测量 机构 | ||
【主权项】:
一种激光输出测量机构,其特征在于,具备:光分离器,在绕入射的激光的光轴旋转了规定的角度的状态下配置,并按照依赖于在反射面上的该激光的偏振方向以及入射角度的菲涅尔反射率,反射该激光的一部分;以及光检测器,测量通过所述光分离器反射的激光的强度。
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