[发明专利]热式流量计有效
| 申请号： | 201180067266.2 | 申请日： | 2011-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN103380353A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 中野洋;松本昌大;浅野哲;半泽惠二 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。 | ||
| 搜索关键词： | 流量计 | ||
【主权项】：
一种热式流量计的制造方法，所述热式流量计具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖所述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在所述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，所述热式流量计的制造方法的特征在于：在形成所述薄膜部后对所述薄膜部加热，进行使所述发热电阻体和所述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
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