[发明专利]弹性波装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201180059880.4 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103262410A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 木户俊介;岩本英树;神藤始;渡边宗久 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王亚爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能对应高频且能提高Q值的弹性波装置。本发明的弹性波装置（1）中，在支撑基板（2）上层叠有进行传播的体波声速比在压电膜（5）传播的弹性波声速高的高声速膜（3），在高声速膜（3）上，层叠有进行传播的体波声速比在压电膜（5）传播的体波声速低的低声速膜（4），在低声速膜（4）上层叠有上述压电膜（5），且在压电膜（5）的一面层叠有IDT电极（6）。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种弹性波装置，具有压电膜，所述弹性波装置具备：高声速支撑基板，其传播的体波声速比在所述压电膜进行传播的弹性波声速高；低声速膜，其层叠于所述高声速支撑基板上，且传播的体波声速比在所述压电膜进行传播的体波声速低；所述压电膜，其层叠于所述低声速膜上；以及IDT电极，其形成于所述压电膜的一面。
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