[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置

摘要

使基板(10)与蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔的状态下相对地移动，同时使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)依次通过限制板单元(80)所具有的多个限制板(81)间的空间(82)和蒸镀掩模的掩模开口(71)并附着在基板上，形成覆膜(90)。判断是否需要对多个限制板中的至少一个的X轴方向位置进行校正，在需要进行校正的情况下，对多个限制板中的至少一个的X轴方向位置进行校正。由此，能够在大型基板上的预期位置上稳定地形成抑制了端缘的模糊的覆膜。

主权项

一种蒸镀方法，其特征在于：所述蒸镀方法是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法，所述蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着在所述基板上形成所述覆膜的蒸镀工序，所述蒸镀工序是使用蒸镀单元使蒸镀颗粒附着在所述基板上的工序，所述蒸镀单元包括：具备在第一方向上的不同位置配置的多个蒸镀源开口的蒸镀源；配置在所述多个蒸镀源开口与所述基板之间的蒸镀掩模；和包含沿着所述第一方向配置的多个限制板且配置在所述蒸镀源与所述蒸镀掩模之间的限制板单元，在所述蒸镀工序中，使用所述蒸镀单元，在使所述基板与所述蒸镀掩模隔开固定间隔的状态下，使所述基板和所述蒸镀单元中的一个，沿着与所述基板的法线方向和所述第一方向正交的第二方向，相对于所述基板和所述蒸镀单元中的另一个相对移动，同时使从所述多个蒸镀源开口放出且通过在所述第一方向上相邻的所述限制板间的空间和在所述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的蒸镀颗粒附着在所述基板上，所述蒸镀方法还具有：判断工序，判断是否需要对所述多个限制板中的至少一个在所述第一方向上的位置进行校正；和校正工序，在所述判断工序中判断为需要进行校正的情况下，对所述多个限制板中的至少一个在所述第一方向上的位置进行校正。