[发明专利]分光传感器

摘要

分光传感器（1）具备：多个干涉滤波部（20A,20B,20C），具有腔体层（21）以及经由腔体层（21）而相对的第1和第2镜面层（22,23），并使规定的波长范围的光根据入射位置选择性地透过；光透过基板（3），配置在第1镜面层（22）侧，使入射至干涉滤波部（20A,20B,20C）的光透过；以及光检测基板（4），配置在第2镜面层（23）侧，检测透过了干涉滤波部（20A,20B,20C）的光。第2镜面层（23），在每个干涉滤波部（20A,20B,20C）被分离。腔体层（21）遍及干涉滤波部（20A,20B,20C）的各个而一体地形成，腔体层（21）的一部分进入相邻的第2镜面层（23,23）间的区域。

主权项

一种分光传感器，其特征在于，具备：多个干涉滤波部，具有腔体层以及经由所述腔体层而相对的第1和第2镜面层，并使规定的波长范围的光根据入射位置选择性地透过；光透过基板，配置在所述第1镜面层侧，使入射至所述干涉滤波部的光透过；以及光检测基板，配置在所述第2镜面层侧，检测透过了所述干涉滤波部的光，所述第2镜面层，在每个所述干涉滤波部被分离，所述腔体层遍及所述干涉滤波部的各个而一体地形成，所述腔体层的一部分进入相邻的所述第2镜面层间的区域。