[发明专利]曝光装置

摘要

本发明是曝光装置，其具备图案生成器（3），图案生成器（3）在与被曝光体（6）的面平行的面内配置有多个光开关（11），光开关（11）包括：开关元件（9），其在与包含电光晶体材料的棱柱状的部件的长轴平行的相对面分别设置电极而形成；以及一对偏振板（12A、12B），其中间隔着该开关元件（9）呈正交尼科尔配置在该开关元件（9）的长轴方向的两端面侧，该曝光装置单独地驱动多个光开关（11）而生成恒定的明暗花纹的曝光图案，将该曝光图案照射到被曝光体（6）进行曝光，上述曝光装置具备多个微透镜（17），多个微透镜（17）使其光轴分别与各开关元件（9）的长的中心轴一致地设置于图案生成器（3）的光出射面侧，将开关元件（9）的光出射端面（9a）的像缩小投影到被曝光体（6）上。由此，可容易进行曝光区域的扩大。

主权项

一种曝光装置，其具备图案生成器，该图案生成器具有多个光开关，上述多个光开关在与被曝光体的面平行的面内配置，该光开关包括：开关元件，其通过在与包含电光晶体材料的棱柱状的部件的长轴平行的相对面分别设置电极而形成；以及一对偏振元件，其中间隔着该开关元件且呈正交尼科尔地配置在该开关元件的长轴方向的两端面侧，上述曝光装置单独地驱动上述多个光开关而生成恒定的明暗花纹的曝光图案，将该曝光图案照射到被曝光体上进行曝光，上述曝光装置的特征在于，上述曝光装置具备多个微透镜，上述多个微透镜使其光轴分别与上述各开关元件的长的中心轴一致地设于上述图案生成器的光出射面侧，将上述开关元件的光出射端面的像缩小投影到上述被曝光体上。