[发明专利]聚合物蚀刻剂及其使用方法有效
| 申请号： | 201180052625.7 | 申请日： | 2011-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103189470A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 拉维·帕拉尼斯瓦米 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/02 | 分类号： | C09K13/02;C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;李德山 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于蚀刻聚合物材料的包含水溶液的组合物，所述水溶液包含碱金属盐和甘氨酸。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 蚀刻 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种组合物，所述组合物包含：用于蚀刻聚合材料的水溶液，所述水溶液包含碱金属盐和甘氨酸。
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