[发明专利]薄膜太阳能电池的Kesterite层制造

摘要

在衬底上真空沉积Kesterite膜并对其进行退火。沉积在低温下进行以提供良好的组分控制和有效的金属使用。在高温下进行短时长的退火。可采用在高真空环境中热蒸发、电子束蒸发或溅射作为沉积方法的一部分。

主权项

一种方法，包括：提供衬底；将所述衬底置于高真空环境；在将所述衬底的温度保持在足够低的范围内以使得沉积于所述衬底上的材料的再蒸发不显著的同时，通过热蒸发将硫和硒中的至少一种以及铜、锌、锡沉积在所述衬底的表面上，从而形成适合太阳能电池应用的吸收层；以及在显著高于所述沉积步骤期间保持的温度的第二温度下，对所述衬底上沉积的所述吸收层进行退火。