[发明专利]分布器加热器无效
| 申请号： | 201180047530.6 | 申请日： | 2011-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103140599A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多夫·贝克;李维欣 | 申请（专利权）人： | 第一太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;韩芳 |
| 地址： | 美国俄亥俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种蒸汽分布器组件可包括碳纤维加热元件。可将蒸汽分布器用在将材料沉积在基板上的设备或方法中，尤其是将蒸汽分布器用作制造光伏模块的部件。例如，分布器组件(300)包括通过进给管(900)将粉体和载气供应到其内的加热器管(42)。然后，通过加热器管使粉体材料汽化，将经过分布歧管(44)中的分布孔(48)的汽化的材料沉积在基板(400)上。 | ||
| 搜索关键词： | 分布 加热器 | ||
【主权项】：
一种蒸汽分布器组件，所述蒸汽分布器组件包括：加热元件，被构造成提供足以使固体材料的至少一部分汽化以形成蒸汽的温度，加热元件包括基于碳的结构。
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