[发明专利]位移量监测电极的构造

摘要

本发明的位移量监测电极的构造，即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化，也能够将检测质量块的振幅保持为一定的目标振幅，而且伴随可动电极向预定轴方向移动，固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量直线地变化的直线变化区域和静电电容的变化量非直线地变化的非直线变化区域各存在至少一个，含有非直线变化区域中的静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴方向的位移量的变化灵敏度比直线变化区域中的变化灵敏度大的特性，并且可动电极向预定轴方向的位移达到与检测质量块的目标振幅对应的目标位移量时的静电电容的目标电容变化量被设定在非直线变化区域。

主权项

一种位移量监测电极的构造，配置有固定电极与可动电极，并基于所述固定电极与所述可动电极之间的静电电容的变化量来监测应以目标振幅驱动的检测质量块的位移量，所述固定电极和所述可动电极分别由基部和从该基部向与基板平行的预定轴方向延伸的电极指构成为梳齿状，所述固定电极相对于所述基板固定，所述可动电极能够向所述预定轴方向移动，所述固定电极和所述可动电极被配置成相互的所述电极指彼此啮合，所述位移量监测电极的构造的特征在于，伴随所述可动电极向所述预定轴方向移动，所述静电电容的变化量直线地变化的直线变化区域和所述静电电容的变化量非直线地变化的非直线变化区域各存在至少一个，含有所述非直线变化区域中的所述静电电容的变化量相对于所述可动电极向所述预定轴方向的位移量的变化灵敏度比所述直线变化区域中的所述变化灵敏度大的特性，并且，所述可动电极向所述预定轴方向的位移达到与所述目标振幅对应的目标位移量时的所述静电电容的目标电容变化量被设定在所述非直线变化区域。