[发明专利]用于将薄膜器件划分为单独的单元格的方法和设备有效
| 申请号: | 201180045897.4 | 申请日: | 2011-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN103119731B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
| 发明(设计)人: | A·N·布伦顿 | 申请(专利权)人: | 万佳雷射有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0463 | 分类号: | H01L31/0463;B23K26/40;B23K26/364 |
| 代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 归莹;张颖玲 |
| 地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB |
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| 摘要: | 用于将薄膜器件划分为单独的单元格的方法和设备,薄膜器件具有为下电极层的第一层、为活性层的第二层和为上电极层的第三层,层在器件上各为连续,单元格各具有宽度W,并被互连结构串联互连。单元格的划分和在相邻单元格之间的互连结构的形成由加工头实现,加工头设置为能在器件上来回经过的序列中同时在多于一个互连上操作,加工头进行以下步骤:a)制造穿过第一层、第二层和第三层的第一切口;b)制造穿过第二层和第三层的第二切口,第二切口邻近第一切口;c)制造穿过第三层的第三切口,第三切口邻近进第二切口,并且在第二切口的与第一切口相对的一侧上;d)使用第一喷墨印制头将非传导材料沉积到第一切口内;以及e)使用第二喷墨印制头来施加传导材料,以在第一切口中的非传导材料上搭桥,并且完全或者部分填充第二切口,以便在第一层和第三层之间形成电连接,其中,步骤a)先于步骤d)、步骤d)先于步骤e)、并且步骤b)先于步骤e)(,除此以外,可以在加工头横跨器件的单次经过中以任何顺序实行步骤)。并且在至少一次使加工头在器件上经过的期间,步骤中的至少两个步骤各自在单独的互连结构上被实行。薄膜器件可为太阳能板、照明板或电池。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 薄膜 器件 分为 单独 单元格 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种用于将薄膜器件划分为由互连结构加以串联互连的单独的单元格的方法,所述薄膜器件具有为下电极层的第一层、为活性层的第二层和为上电极层的第三层,所述第一层、所述第二层和所述第三层在所述薄膜器件上是连续的,所述单元格的划分和在相邻单元格之间的互连结构的形成由加工头实现,所述加工头设置为同时在多于一个互连结构上操作,并在在所述薄膜器件上来回经过的序列中在每个互连结构的形成中进行以下步骤:a)制造穿过所述第一层、第二层和第三层的第一切口;b)制造穿过所述第二层和第三层的第二切口,所述第二切口邻近所述第一切口;c)制造穿过所述第三层的第三切口,所述第三切口邻近所述第二切口,并且在所述第二切口的与所述第一切口相对的一侧上;d)使用第一喷墨印制头将非传导材料沉积到所述第一切口内;以及e)使用第二喷墨印制头来施加传导材料,以在所述第一切口中的所述非传导材料上搭桥,并且完全或者部分填充所述第二切口,以便在所述第一层和所述第三层之间制造电连接,其中,除步骤a)先于步骤d)、步骤d)先于步骤e)、并且步骤b)先于步骤e)以外,能够以任何顺序实行所述步骤,并且在至少一次使所述加工头在所述薄膜器件上经过的期间,所述步骤中的至少两个步骤分别在单独的互连结构上被实行,所以不同的步骤在所述至少一次经过的期间在单独的互连结构上被实行。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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