[发明专利]制造带有透明的由合成石英制成的内层的石英玻璃坩埚的方法有效
申请号: | 201180045176.3 | 申请日: | 2011-08-31 |
公开(公告)号: | CN103118995A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | A.霍夫曼;M.许纳曼 | 申请(专利权)人: | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
主分类号: | C03B19/09 | 分类号: | C03B19/09 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 石克虎;林森 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明的基本目的是,提出一种低成本的石英玻璃坩埚制造方法,该坩埚具有透明的合成石英玻璃组成的一个内层而且其特殊之处在于较长的使用寿命。按照本发明,该目的通过一种包括下述方法步骤的方法实现:(a)通过至少固定一个由SiO2颗粒形成的颗粒层的表面来生成一个具有一个内层的透气性坩埚基底,(b)通过气相沉积在坩埚基底的内侧的至少一个部分表面上沉积一个多孔的SiO2灰料层,以及(c)借助电弧并在经真空熔融模具的壁进行作用的真空下,对多孔的SiO2灰料层和坩埚基底的至少一部分进行真空辅助烧结,同时形成石英玻璃坩埚和透明石英玻璃内层。 | ||
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【主权项】:
用于制造带有由合成制备的石英玻璃制成的透明内层的石英玻璃坩埚的方法,包括以下方法步骤:(a) 通过至少固定一个由SiO2颗粒形成的颗粒层(4)的表面来生成一个具有一个内侧(9)的透气性坩埚基底(20;40),(b) 通过气相沉积在该坩埚基底(20;40)的内侧(9)的至少一个部分表面上沉积一个多孔的SiO2灰料层(21;41),并且(c) 借助电弧(6)并在经真空熔融模具的壁进行作用的真空下,对该多孔的SiO2灰料层(21;41)和坩埚基底(20;40)的至少一部分进行真空辅助的烧结,形成该石英玻璃坩埚和该透明的石英玻璃内层。
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