[发明专利]由激光成丝作用进行材料处理的方法

摘要

提供了用于切割步骤制备透明衬底的内部处理的方法。用聚焦的激光束照射衬底，聚焦的激光束包括具有被选择以在衬底内产生丝的能量和脉冲持续时间的脉冲。相对于聚焦的激光束平移衬底以照射述衬底并在一个或多个额外的位置产生额外的丝。其中产生的丝形成限定用于切割所述衬底的内部刻划路径的排列。可改变激光束参数以调整丝长度和位置、以及非必须地引入V型通道或沟槽、给激光切割的边缘提供斜面。优选地，激光脉冲是以脉冲群列输送的，用于降低丝形成的能量阈值、增加丝长度、对丝修改区域进行热退火以使附带损害最小化、改进处理可重复性、以及与使用低重复率激光相比增加处理速度。

主权项

一种制备用于切割的衬底方法，所述方法包括以下步骤：用聚焦的激光束的一个或多个脉冲照射所述衬底，其中所述衬底对所述聚焦的激光束是透明的，并且其中所述一个或多个脉冲具有被选择以在所述衬底内产生丝的能量和脉冲持续时间；相对于所述聚焦的激光束平移所述衬底以照射所述衬底并在一个或多个额外的位置产生额外的丝；其中所述丝形成限定用于切割所述衬底的内部刻划路径的排列。