[发明专利]基于压电的微机电透镜致动系统有效
| 申请号： | 201180040794.9 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN103180239A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·迈克;郭志义 | 申请（专利权）人： | 艾伦·迈克;郭志义 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B5/00;G02B26/08;H01L41/083 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | 在此披露了一种压电致动的微机械变形构件，该构件包括一个波纹纵向梁(521)，该梁在基板中形成并且具有一个第一锚定端(502)和一个第二端(509)、以及在该波纹梁的至少一些槽和脊中或上形成的多个压电膜(PZET)致动段(522、523、524)，该梁(521)被配置为取决于一组相应的电动致动信号(105)中的哪些信号被应用到这些PZET元件上而采用很多不同的几何配置之一，这些电致动信号在这些相关联的PZET段里建立相应的电场，由此使该构件变形。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 微机 透镜 系统 | ||
【主权项】：
一种压电致动的微机械变形构件，包括：一个在基板中形成的波纹纵向梁，所述梁具有一个第一锚定端和一个第二端；在该波纹梁的至少一些槽和脊中或上形成的多个压电膜(PZET)致动段，该梁被配置为取决于一组相应的电致动信号中的哪些信号被应用到这些PZET元件上而采用很多不同的几何配置之一，所述电致动信号在这些相关联的PZET段里建立相应的电场，由此使该构件变形；具有所述多个压电膜(PZET)致动段的该梁，被配置成响应于一个第一组所述电致动信号而在长度上延长；具有所述多个压电膜(PZET)致动段的该梁，被配置成响应于一个第二组所述电致动信号而在长度上缩小；具有所述多个压电膜(PZET)致动段的该梁，被配置成响应于一个第三组所述电致动信号而在一个第一方向上弯曲该梁的该第二端；以及具有所述多个压电膜(PZET)致动段的该梁，被配置成响应于一个第四组所述电致动信号而在一个第二方向上弯曲该梁的该第二端。
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