[发明专利]用于制造太阳能电池的快速化学电沉积的设备及方法

摘要

本发明大体来说涉及电沉积设备及方法。当经由电沉积来沉积薄膜时，在衬底具有固有电阻率(例如，薄膜中的薄层电阻)的情况下，使用本发明的方法及设备通过形成到衬底表面的多个欧姆接触而将材料电沉积到所述衬底上，且借此克服固有电阻且电沉积均匀薄膜。本发明的方法及设备特别适用于太阳能电池制造。

主权项

一种用于电沉积的设备，其包含包括多个接触插脚的支撑结构，所述多个接触插脚中的每一接触插脚经配置以建立与衬底表面的电接触且借此将电镀电位供应到所述衬底。