[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法

摘要

在已知的用于生产石英玻璃坩埚的方法中提供了一种真空熔融模具，在其内侧面上成形出一个SiO2颗粒的坩埚形颗粒层，该颗粒层具有一个底部区域和一个侧壁区域。在该多孔颗粒层的至少一部分上构成了一个少气泡的石英玻璃构成的表皮层。通过施加负压，至少从与该表皮层相邻的颗粒层的一部分中去除了气态组分，并且该颗粒层被玻璃化，同时形成具有坩埚高度H的石英玻璃坩埚。为了由此出发提供一种简化生成过程并且降低杂质进入硅熔体中的危险的石英玻璃坩埚，根据本发明提出，在该颗粒层的一个上部区域中在玻璃化时在该表皮层之下并且与之相邻地制造一个气泡区，该上部区域与下部区域相接并且延伸直至全高H，该气泡区包含具有一个比气泡体积的多个填充有气体的气泡，该比气泡体积为该少气泡的石英玻璃中填充有气体的气泡的比体积的至少两倍，其实现方式为在该颗粒层的一个下部区域中施加一个负压，该下部区域从底部区域最大延伸直至坩埚高度H的0.8倍。

主权项

生产用于拉拔单晶的石英玻璃坩埚的方法，包括以下的方法步骤：(a)制备一种带有一个壁的真空熔融模具(1；21；31)，该壁具有一个内侧面、一个外侧面以及在该外侧面与内侧面之间的多个穿通孔(6；7)，(b)在该真空熔融模具(1；21；31)的内侧面上由SiO2颗粒成形出一种坩埚形的、多孔的颗粒层(12)，其中该颗粒层(12)具有一个底部区域(8)以及一个侧壁区域(9；10)，(c)在该多孔的颗粒层(12)的至少一部分上由少气泡的石英玻璃形成一个表皮层(14)，(d)从与该表皮层(14)相邻的颗粒层(12)的至少一部分上去除气态组分，其方式为在该熔融模具壁(1；21；31)的外侧面上施加负压，(e)将该多孔的颗粒层(12)玻璃化，同时形成具有坩埚高度H的石英玻璃坩埚(40)，其特征在于，在该颗粒层(12)的一个上部环形区域(10)中在玻璃化时在该表皮层(14)之下并且与之相邻地制造一个气泡区(41)，该上部区域与下部区域(9)相接并且延伸直至全高H，该气泡区包含具有一个比气泡体积的多个填充有气体的气泡，该比气泡体积为该少气泡的石英玻璃中填充有气体的气泡的比体积的至少两倍，其实现方式为在该颗粒层(12)的一个下部区域(9)中施加一个负压，该下部区域从该底部区域(8)最大延伸直至坩埚高度H的0.8倍。