[发明专利]氧化物烧结体、氧化物混合物、它们的制造方法以及使用它们的靶无效
申请号: | 201180010234.9 | 申请日: | 2011-02-17 |
公开(公告)号: | CN102762518A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 中田邦彦;吉川岳;中村吉伸;铃木晶雄;堀田翔平 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社;学校法人大阪产业大学 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C23C14/34 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 金龙河;穆德骏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的氧化物烧结体是实质上由锌、钛以及氧构成的氧化物烧结体,钛相对于锌与钛的合计的原子数比Ti/(Zn+Ti)超过0.02且在0.1以下。本发明的氧化物混合物,由氧化锌以及氧化钛构成,钛相对于锌与钛的合计的原子数比Ti/(Zn+Ti)超过0.02且在0.1以下。通过使用本发明的氧化物烧结体或氧化物混合物,能够形成具有优良的导电性和化学耐久性的氧化锌系透明导电膜。 | ||
搜索关键词: | 氧化物 烧结 混合物 它们 制造 方法 以及 使用 | ||
【主权项】:
一种氧化物烧结体,其实质上由锌、钛以及氧构成,钛相对于锌与钛的合计的原子数比Ti/(Zn+Ti)超过0.02且在0.1以下。
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