[发明专利]光电转换元件制造装置

摘要

提供了一种能够在小空间中对柔性基板有效地进行退火处理、使该装置在安装空间中的面积和处理时间的增加最小化、确保高生产率、以及改进光电转换元件的电特性的光电转换元件制造装置。根据本发明的光电转换元件制造装置在柔性基板1上形成光电转换元件和透明导电膜并将柔性基板1运送到卷绕室5，以卷绕在设置在卷绕室5中的卷绕辊8上。卷绕室5包括辊芯加热器11，该辊芯加热器是在膜形成工艺之后对卷绕中的柔性基板1进行退火处理的加热机构。

主权项

一种在柔性基板上形成光电转换元件和透明导电膜并将所述柔性基板运送到卷绕室以卷绕在设置在所述卷绕室中的卷绕辊上的光电转换元件制造装置，所述光电转换元件制造装置包括：设置在所述卷绕室中且对卷绕中的所述柔性基板进行退火处理的加热机构。