[实用新型]机械手臂清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种机械手臂清洗装置，所述机械手臂包括竖向杆、横向支架、一对间隔设置于所述横向支架下方的横向的晶圆夹持架、若干竖向连杆以及若干固定座，每个晶圆夹持架的两端分别通过各自的竖向连杆连接至横向支架，横向支架上与竖向连杆的连接处分别设有所述固定座，所述机械手臂清洗装置包括：与所述固定座相应数量的干燥气体喷管与喷头，干燥气体喷管的一端分别外接干燥气体源，干燥气体喷管的另一端分别连接对应的喷头，喷头分别朝向对应的固定座的底部设置。通过增设的干燥气体喷管和喷头，可向机械手臂上容易凝结酸性液体的固定座的底部喷射干燥气体，防止固定座上凝结的酸性液体滴落到晶圆上，有效保护晶圆在传输过程中的安全。

主权项

一种机械手臂清洗装置，所述机械手臂包括：竖向杆、横向支架、一对间隔设置于所述横向支架下方的横向的晶圆夹持架、若干竖向连杆以及若干固定座，每个晶圆夹持架的两端分别通过各自的竖向连杆连接至所述横向支架，所述横向支架上与所述竖向连杆的连接处分别设有所述固定座，其特征在于，所述机械手臂清洗装置包括：与所述固定座相应数量的干燥气体喷管与喷头，所述干燥气体喷管的一端分别外接干燥气体源，所述干燥气体喷管的另一端分别连接对应的喷头，所述喷头分别朝向对应的固定座的底部设置。