[实用新型]一种硅片清洗用导液装置有效
| 申请号： | 201120568652.7 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN202438522U | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 韩彦峰;李华;朴艳辉;马宏力 | 申请（专利权）人： | 保定天威英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗用导液装置，包括与硅片清洗设备的输液管密码环接头相连接的转接头，所述转接头上连接有与药液桶相配合的吸液软管，且所述吸液软管通过所述转接头与所述输液管相连通。使用过程中，该吸液软管能够有效吸取位于药液桶底部的化学药液，避免因吸取不彻底造成的药液浪费，从而显著提高所述导液装置的药液吸取效率和输送效率，并使得整个加工过程中的化学药液利用率得以相应提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 用导液 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗用导液装置，其特征在于：包括与硅片清洗设备的输液管密码环接头相连接的转接头，所述转接头上连接有与药液桶相配合的吸液软管，且所述吸液软管通过所述转接头与所述输液管相连通。
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