[实用新型]生产四氯化硅的系统装置

摘要

本实用新型公开了一种生产四氯化硅的系统装置。本实用新型通过一套包括精馏塔、容器、贮罐、反应器、冷却器、加热器、机泵等设备和工艺管道、阀门、控制系统的密闭的化工装置来实现。具体包括原料罐、硅粉回收系统、四氯化硅纯化系统与四氯化硅精制系统。本实用新型置利用生产多晶硅排出的四氯化硅废料作原料，生产不同纯度的四氯化硅产品，普通型产品可用于多晶硅白炭黑、硅胶等生产行业，高纯型产品可用于光纤等行业。本实用新型的系统装置为密闭系统，生产过程没有废水、废渣排放，废料中分离出的硅粉处理后也可作为产品，因此，本实用新型达到了变废为宝的目的，有效解决了多晶硅生产行业的废料处理，并提高了环保水平。

主权项

生产四氯化硅的系统装置，其特征在于：包括原料罐、硅粉回收系统与四氯化硅纯化系统；所述硅粉回收系统，包括硅粉分离器进料罐、硅粉分离器、分离器循环泵、硅粉纯化罐、硅粉包装机、四氯化硅收集罐；所述四氯化硅纯化系统，包括纯化系统进料罐、吸附罐、纯化系统产品罐；所述原料罐的出口连接硅粉分离器进料罐的入口，所述硅粉分离器进料罐的出口连接至硅粉分离器的入口，所述硅粉分离器包含第一出口、第二出口与第三出口，通过分离器循环泵将废料从硅粉分离器第一出口送入硅粉分离器的进料罐；所述硅粉分离器第二出口连接硅粉纯化罐的入口，所述硅粉纯化罐的出口连接硅粉包装机的入口；所述硅粉分离器第三出口连接至四氯化硅收集罐的入口，四氯化硅收集罐出口连接至纯化系统进料罐的入口；所述纯化系统进料罐的出口连接吸附罐的入口，所述吸附罐包含吸附罐第一出口与吸附罐第二出口，吸附罐的第一出口连接纯化系统产品罐。