[实用新型]单晶硅、砷化镓、蓝宝石加工设备有效
申请号: | 201120552001.9 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN202540507U | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 秦建国 | 申请(专利权)人: | 秦建国 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王雪梅 |
地址: | 101500 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种单晶硅、砷化镓、蓝宝石加工设备,包括动力装置、装夹装置、定位装置和控制系统,所述动力装置包括控制主轴升降的伺服电机和控制主轴旋转的交流电机,控制装置包括电脑箱和X光机定位仪操作台,所述定位装置包括X光机定位仪,所述装夹装置采用十字转台,所述十字转台是安装在设备机架的工作台上;所述十字转台与工作台之间是固定连接,且可在工作台上做360度旋转;所述十字转台下端是下底座,其与工作台之间是固定连接,十字转台上端是上托盘,中间有夹块,下底座的侧边安装有可调的定位块,十字转台下端安装有调整螺钉。本实用新型实现了单晶硅、砷化镓、蓝宝石加工的简单快捷、操作方便、调整灵活、定位准确、加工效率高。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 砷化镓 蓝宝石 加工 设备 | ||
【主权项】:
一种单晶硅、砷化镓、蓝宝石加工设备,包括动力装置、装夹装置、定位装置和控制系统,所述动力装置包括控制主轴升降的伺服电机和控制主轴旋转的交流电机,控制装置包括电脑箱和X光机定位仪操作台,所述定位装置包括X光机定位仪,其特征在于,所述装夹装置采用十字转台,所述十字转台安装在设备机架的工作台上。
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