[实用新型]一种离子束运动截面的调整装置有效
| 申请号： | 201120533666.5 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN202352612U | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;曲丕丞;赵无垛;陈平;崔华鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40;H01J49/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子束运动截面的调整装置，主要由前置电极、对电极a和b、后置电极组成。前置和后置电极用于减少对电极a、b的电场向外渗透。对电极a和对电极b上添加不同的电压。当离子束在对电极a、b运动的过程中，各个离子经过的路程相同，但因为对电极a、b的电压不同，离子在对电极a和b的运动时间不同，导致离子束离开对电极b时的截面发生变化。通过改变对电极a和b的接口形状和电压，使得离子束在离开对电极b时可以形成特定的形状。此外，根据需要可多级串联使用，对离子束进行多维度调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 运动 截面 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种离子束运动截面的调整装置，其特征在于：包括前置电极(1)、对电极a(2)、对电极b(3)和后置电极(4)；前置电极(1)和后置电极(4)为平行、相对设置的金属板状电极，金属板状电极中部设置有贯穿电极板体的通孔；对电极a(2)和对电极b(3)为同轴设置的、二端开口的金属圆筒状电极，对电极a(2)和对电极b(3)置于前置电极(1)和后置电极(4)之间，且对电极a(2)和对电极b(3)与前置电极(1)和后置电极(4)上的通孔同轴；靠近前置电极(1)的对电极a(2)的端面和靠近后置电极(4)的对电极b(3)的端面平行于前置电极(1)的平面；对电极a(2)和对电极b(3)直径相等、相互间隔设置，对电极a(2)和对电极b(3)间相靠近的端面为椭圆面，它们的椭圆面相平行，椭圆面所处的平面与前置电极(1)所处的平面相交。
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