[实用新型]一种复合磨粒有效
| 申请号： | 201120498836.0 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN202346953U | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张莉娟 | 申请（专利权）人： | 张莉娟 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C08J5/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100830 北京市东三*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合磨粒，以聚甲基丙烯酸酯为核，其特征在于：在聚甲基丙烯酸酯核外包括均匀覆盖的氧化铈壳。借助这种核壳结构有机/无机复合磨粒所独特的内柔外硬、非刚性的力学特性，预期在CMP过程中充分发挥其有机微球内核的弹性与CeO2壳层的表面硬度及高化学活性之间的协同作用，获得了高质量的超光滑抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 | ||
【主权项】：
一种复合磨粒，以聚甲基丙烯酸酯为核，其特征在于：在聚甲基丙烯酸酯核外包括均匀覆盖的氧化铈壳。
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