[实用新型]一种电弧离子镀膜设备的引弧杆有效
| 申请号： | 201120440828.0 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN202401122U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 苏东艺 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谭英强 |
| 地址： | 510730 广东省广州市萝岗区高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电弧离子镀膜设备的引弧杆，包括杆身，所述杆身内部设有流体流通通道，在杆身上还设有进料孔和出料孔，所述进料孔连通流体流通通道的始端，所述出料孔连通流体流通通道的末端。本实用新型通过在杆身设置流体流通通道，并在杆身设置连通流体流通通道的进料孔和出料孔，可从进料孔向流体流通通道中加入流体，该流体可与工作状态下地引弧杆做热交换，使得引弧杆能工作在较低的温度，防止引弧杆的温度过高影响与其连接的骨架胶封的密封性，保证电弧离子镀膜设备的真空室处于稳定的真空状态。本实用新型可作为引弧杆适用于电弧离子镀膜设备中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电弧 离子 镀膜 设备 引弧杆 | ||
【主权项】：
一种电弧离子镀膜设备的引弧杆，包括杆身，其特征在于：所述杆身内部设有流体流通通道，在杆身上还设有进料孔和出料孔，所述进料孔连通流体流通通道的始端，所述出料孔连通流体流通通道的末端。
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