[实用新型]具有探针清洁功能的点测机有效
| 申请号: | 201120371197.1 | 申请日: | 2011-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN202256598U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
| 发明(设计)人: | 温俊熙;李聪明;白智亮;吴柏汉 | 申请(专利权)人: | 致茂电子(苏州)有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/067;B08B5/00 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;常大军 |
| 地址: | 215011 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 一种具有探针清洁功能的点测机,包含工作盘、至少一探针、吹气装置、集尘装置以及控制结构;工作盘的顶面用以承放一待测物;探针设置于该工作盘的顶面上方;吹气装置设置于该工作盘的一侧,以朝平行于该工作盘的一第一方向产生一气流;集尘装置设置于该工作盘的一侧,以接收该第一方向的该气流。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 探针 清洁 功能 点测机 | ||
【主权项】:
一种具有探针清洁功能的点测机,其特征在于,包含:一工作盘,该工作盘的顶面用以承放一待测物;至少一探针,设置于该工作盘的顶面上方;一吹气装置,设置于该工作盘的一侧,以朝平行于该工作盘的一第一方向产生一气流;以及一集尘装置,设置于该工作盘的一侧,以接收该第一方向的该气流。
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