[实用新型]多晶硅还原炉尾气出口装置有效
| 申请号： | 201120338390.5 | 申请日： | 2011-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN202415170U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 赵翠;茅陆荣;郑飞龙 | 申请（专利权）人： | 上海森松环境技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 200137 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的多晶硅还原炉尾气出口装置，包括盖板、内伸管、底盘上底板、底盘下底板和尾气出口管。其中：盖板与内伸管上端连接；内伸管下端与尾气出口管连接，内伸管上均匀分布数个轴向或切向的通孔，通孔形状为长方形、正方形、菱形或圆形等；尾气出口管焊接于底盘上底板和底盘下底板。本实用新型改变了尾气出口处流场分布，保证了还原炉尾气管道的畅通，后续设备工艺气体的清洁度，增加原料气体在炉内的停留时间，提高了多晶硅的沉积率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 尾气 出口 装置 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉尾气出口装置，包括多晶硅还原炉底盘的上底板、下底板、尾气出口管(5)，所述尾气出口管与所述上底板、下底板连接，其特征在于：还包括内伸管与盖板，所述盖板与内伸管上端连接，所述内伸管下端与尾气出口管连接；内伸管上开有通孔。
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