[实用新型]一种肖特基二极管有效
申请号: | 201120285403.7 | 申请日: | 2011-08-08 |
公开(公告)号: | CN202189789U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 赵为涛;苗本秀;张录周 | 申请(专利权)人: | 山东沂光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/872 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 276017 山东省临*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种肖特基二极管,属于半导体器件技术领域。其包括硅衬底、硅外延层、二氧化硅、P+环、金属硅化物、阻挡金属层、粘附金属层和金属电极层,所述硅衬底上生长有硅外延层,硅外延层上沉积有二氧化硅,硅衬底和硅外延层为N型半导体硅材料,在硅外延层中具有P+环,P+环与硅外延层形成一单边突变PN结,与肖特基结并联,金属硅化物在二氧化硅的窗口内,在二氧化硅的窗口上依次覆盖阻挡金属层、粘附金属层和金属电极层。本实用新型由于采用以上结构,与现有技术相比具有低噪声、低功耗、超高频、具有优良的正向和反向特性的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 肖特基 二极管 | ||
【主权项】:
一种肖特基二极管,包括硅衬底、硅外延层、二氧化硅、P+环、金属硅化物、阻挡金属层、粘附金属层和金属电极层,其特征在于:所述硅衬底上生长有硅外延层,硅外延层上沉积有二氧化硅,硅衬底和硅外延层为N型半导体硅材料,在硅外延层中具有P+环,P+环与硅外延层形成一单边突变PN结与肖特基结并联,金属硅化物在二氧化硅的窗口内,在二氧化硅的窗口上依次覆盖阻挡金属层、粘附金属层和金属电极层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东沂光电子股份有限公司,未经山东沂光电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201120285403.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类