[实用新型]一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置有效
| 申请号： | 201120283145.9 | 申请日： | 2011-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN202181346U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/38 | 分类号： | C23C14/38 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置，包括镀膜机镀膜室炉和蒸发源金属靶，所述的蒸发源金属靶的靶面上钻有孔（13），其中嵌有一瓷管（14），瓷管内孔涂覆一层石墨导电漿料层（15），石墨导电漿料层电连通金属靶，瓷管内孔悬空挿入一电极（16），电极经串联限流电阻后连接至一直流高压引弧电源（9）正极，所述的直流高压引弧电源（9）阴极连接所述的镀膜机镀室壁且接地；设有引弧控制电路（12）控制高压直流引弧电源（9）的开关。本实用新型克服了机械接触式引弧的诸多缺点，且比高压高频触发引燃电弧结构简单，造价低廉，方便推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 蒸发 接触 直流 高压电 装置 | ||
【主权项】：
一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置，包括镀膜机镀膜室和蒸发源金属靶，其特征是：所述的蒸发源金属靶的靶面上钻有孔（13），其中嵌有一瓷管（14），瓷管内孔涂覆一层石墨导电漿料层（15），石墨漿料电连通金属靶，瓷管内孔悬空挿入一电极（16），电极经串联限流电阻后连接至一直流高压引弧电源（9）正极，所述的直流高压引弧电源（9）阴极连接所述的镀膜机镀室壁且接地；设有引弧控制电路（12）控制高压直流引弧电源（9）的开关。
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