[实用新型]一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构有效
| 申请号： | 201120261343.5 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202189226U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请（专利权）人： | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈；所述柔性排屑管与真空抽吸器或吸粉箱连接。本实用新型通过在壳体上连接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管，由所述抽排管路的吸力就可将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 硅片 光刻 中的 机构 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，其特征在于，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈。
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