[实用新型]一种过滤装置有效
申请号: | 201120233157.0 | 申请日: | 2011-07-04 |
公开(公告)号: | CN202127033U | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 侯荣华;王燕 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;赵镇勇 |
地址: | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供一种过滤装置,连接于进行镀膜的镀膜集热管(6)一端,包括:过滤元件(4)、过滤接管(1)、连接板(3)、密封圈(5)与连接卡箍法兰(2);过滤接管(1)一端焊接于过滤元件(4)一端,并与中空的过滤元件(4)连通;过滤接管(1)另一端通过外管螺纹与连接板(3)的中心的内管螺纹孔连接并密封;连接板(3)与镀膜集热管(6)的一端的连接环(62)设于连接卡箍法兰(2)的两片法兰盘间,且在连接板(3)与连接环(62)间设有密封圈(5)。可以过滤镀膜过程气体中的剧毒元素,避免有害气体直接排入大气污染环境,造成危害。 | ||
搜索关键词: | 一种 过滤 装置 | ||
【主权项】:
一种过滤装置,连接于进行镀膜的镀膜集热管(6)一端,其特征在于,包括:过滤元件(4)、过滤接管(1)、连接板(3)、密封圈(5)与连接卡箍法兰(2);过滤接管(1)一端焊接于过滤元件(4)一端,并与中空的过滤元件(4)连通;过滤接管(1)另一端通过外管螺纹与连接板(3)的中心的内管螺纹孔连接并密封;连接板(3)与镀膜集热管(6)的一端的连接环(62)设于连接卡箍法兰(2)的两片法兰盘间,且在连接板(3)与连接环(62)间设有密封圈(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北仪创新真空技术有限责任公司,未经北京北仪创新真空技术有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201120233157.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种手电筒以及带有这种手电筒的电蚊拍
- 下一篇:三通异形油管焊接工装
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的