[实用新型]薄膜体声波共振式流体传感器

摘要

本实用新型是有关于一种薄膜体声波共振式流体传感器,其包括有一薄膜体声波共振器、一接着层以及一流体检测层，该薄膜体声波共振器包含有一基板、一第一电极层、一压电层及一第二电极层，该基板具有一第一表面、一相对的第二表面、一连通该第一表面与该第二表面的空腔，该第一电极层形成于该基板的第一表面，且该第一电极层具有一对应该空腔的显露面，该压电层形成于该第一电极层上，且该压电层具有一晶格排列方向，该晶格排列方向与垂直该第一表面的铅垂线之间具有一夹角，该第二电极层形成于该压电层上，该接着层形成于该第一电极层的显露面，而该流体检测层形成于该接着层上，本实用新型使薄膜体声波共振器可用以检测流体特性及提高流体传感器的灵敏度，非常适于实用。

主权项

薄膜体声波共振式流体传感器,其特征在于其包含：一薄膜体声波共振器，其包含：一基板，其具有一第一表面、一相对的第二表面、一连通该第一表面与该第二表面的空腔；一第一电极层，形成于该基板的第一表面，其具有一对应该空腔的显露面；一压电层，形成于该第一电极层上，其具有一晶格排列方向，该晶格排列方向与垂直该第一表面的铅垂线之间具有一夹角；及一第二电极层，形成于该压电层上；一接着层，形成于该第一电极层的显露面；以及一流体检测层，形成于该接着层上。