[实用新型]硅粉干燥集成系统

摘要

本实用新型公开了一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐、布置在硅粉干燥罐上的电加热器，还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器和设置在硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，氮气分布器具有伸出至硅粉干燥罐外部的氮气进口端，氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔，硅粉干燥罐上设有废气出口，废气出口和废气抽吸装置通过管道相通，废气抽吸装置包括废气抽吸风机；本系统中的氮气分布器使氮气分布更均匀，置换效果更好，废气抽吸装置使含水蒸汽的废气被及时抽走，确保了干燥效果，避免了管道和设备的腐蚀，避免了杂质堵塞管道，提高了合成三氯氢硅的收率，降低了生产成本，保证了多晶硅的产品品质。

主权项

一种硅粉干燥集成系统，包括硅粉干燥罐（1）、布置在硅粉干燥罐上的电加热器（2），其特征在于：还包括设置在所述硅粉干燥罐内部的氮气分布器（3）和设置在所述硅粉干燥罐外部的废气抽吸装置，所述氮气分布器（3）具有伸出至所述硅粉干燥罐外部的氮气进口端（4），所述氮气分布器上设有至少一个氮气置换孔（10），所述硅粉干燥罐上设有废气出口（5），所述废气出口（5）和所述废气抽吸装置通过管道相通，所述废气抽吸装置包括废气抽吸风机（7）。