[实用新型]电子测试装置

摘要

本实用新型提供一种电子测试装置，该装置包含印刷电路板、上固定装置、多个空间转换基板及多个探针基板，上固定装置设置于印刷电路板上，空间转换基板装设于上固定装置中，与印刷电路板电气连接，探针基板具有对应于测试裸晶的测试垫的微探针，且与空间转换基板以引线结合方式连接，透过小面积的探针基板及空间转换基板组立成大面积探针基板、高针数、高平行测试的电子测试装置，可克服大面积陶瓷基板制作困难问题、有效降低成本、提高生产良率、制程弹性及产业应用性，并降低了维护成本。

主权项

一种电子测试装置，其特征在于，包含：一印刷电路板；一上固定装置，设置于该印刷电路板的一上表面，包含一固定槽以及多个固定底座，且所述固定底座设置于该固定槽中，且以一特定间距排列；多个空间转换基板，装设于该固定槽中，以另一特定间距彼此排列，并与该印刷电路板电气连接；以及多个探针基板，以一刚性材料基板所制成，具有多个微探针，且所述微探针对应于待测试的裸晶的测试垫，所述探针基板分别设置于所述固定底座上，并与所述空间转换基板相邻，且与所述空间转换基板电气连接。