[实用新型]一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置有效
| 申请号： | 201120191186.5 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN202175565U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 刘应宽;盛之林;刘振远;郑杰;尹中荣;蒋宁雄;刘永贵 | 申请（专利权）人： | 宁夏银星多晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 合天律师事务所 64103 | 代理人： | 郭立宁 |
| 地址： | 751100 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置。该装置的电子束熔炼室包括吸附板(2)、电子枪(3，4，5)、左右水平水冷铜坩埚(7，15)，其上设置有溢流口(10，14)，三把电子枪分别垂直安装在电子束熔炼室的上壁，左水平水冷铜坩埚(7)与第一移动丝杠机构(16)相连接，右水平水冷铜坩埚(15)，与第二移动丝杠机构(28)相连接，第一、第二移动丝杠机构(16，28)分别与熔炼室外壁的电机相连接，左右水平水冷铜坩埚(7，15)的底部分别安装有第一滑轮(17)和第二滑轮(27)，在熔炼室上壁的左右两侧各设置有第一原料入口(1)和第二原料入口(6)。本实用新型解决了现有的电子束熔炼技术效率低、定向除杂效果不理想的问题，提供了一种提高电子束熔炼效率，消除新加入硅料熔化时对已扫描脱磷硅液的污染，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 提纯 用电 熔炼 高效 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置，该装置上部分为电子束熔炼室，下部分为定向凝固室，室壁为双层水冷结构，其特征在于电子束熔炼室包括吸附板(2)、电子枪(3，4，5)、左右水平水冷铜坩埚(7，15)，其上设置有溢流口(10，14)，三把电子枪分别垂直安装在电子束熔炼室的上壁，左水平水冷铜坩埚(7)与第一移动丝杠机构(16)相连接，右水平水冷铜坩埚(15)，与第二移动丝杠机构(28)相连接，第一、第二移动丝杠机构(16，28)分别与熔炼室外壁的电机相连接，左右水平水冷铜坩埚(7，15)的底部分别安装有第一滑轮(17)和第二滑轮(27)，在熔炼室上壁的左右两侧各设置有第一原料入口(1)和第二原料入口(6)，送料机构安装在第一、第二原料入口(1，6)的上端，水冷铸锭坩埚(19)安装在定向凝固室中，水冷盘(21)安装在水冷铸锭坩埚(19)的底部，并与出锭顶升机构(22)相连接，进水管(23)和出水管(24)与位于水冷铸锭坩埚(19)底部的水冷盘(21)相连通，电子束熔炼室的后方配置有高真空系统、送料仓(35)、电控柜(37)、操作台(38)、高压电源(39)和循环水冷系统(40)。
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