[实用新型]一种光纤式薄膜沉积温度的测量装置

摘要

本实用新型为一种应用于直流电弧等离子体化学气相沉积法金刚石涂层过程的沉积温度的光纤测量装置。该装置由金属圆环、模拟工件、光学透镜装置、光纤、光纤测温仪等部件所组成；均匀分布地安装在电弧弧柱周围的模拟工件将感应出电弧造成的沉积温度分布；在远离电弧弧柱、处于低温区域的光学透镜装置将模拟工件温度的光学信号传递至光纤端部，然后这些光纤送至CVD沉积室外，再经过光纤测温仪的接收器接收后转换为沉积温度的分布信息。本实用新型的优点在于：它可以避免热电偶式的测温方法容易受到直流电弧高频引燃装置干扰和损坏的问题，方便地在直流电弧等离子体化学气相沉积装置中收集温度分布的信息。

主权项

一种光纤式薄膜沉积温度的测量装置，该装置包括在拉长的直流电弧弧柱（9）的周围设置有金属圆环（9）、模拟工件（15）、光学透镜装置（16）和光纤测温仪（18）；其特征在于，所述金属圆环（9）的内孔部位均匀分布安装有多个所述模拟工件（15），在远离所述直流电弧弧柱（9）的圆周位置处，安装有与所述模拟工件（15）相对应的用于接收光信号的光学透镜装置（16），所述光学透镜装置（16）通过光纤（7）与设置在真空室（2）外的所述光纤测温仪（18）连接。