[实用新型]晶舟清洗装置有效
| 申请号： | 201120160960.6 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202087548U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 李向辉;王杨;秦国强;赵庆;周成志 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种晶舟清洗装置，用于清洗晶舟，所述晶舟清洗装置包括：清洗槽；用于承载晶舟的旋转盘，所述旋转盘设置在所述清洗槽底部；用于驱动所述旋转盘旋转的驱动装置，与所述旋转盘连接；设置在所述清洗槽内的喷管以及与所述喷管连通的若干喷头。本实用新型提供的晶舟清洗装置通过将喷管设置在清洗槽内，可将清洗槽浸泡和喷头喷淋这两种清洗方式结合起来，对晶舟进行清洗，大大提高了清洗效果；将晶舟垂直设置在所述旋转盘上，避免了在清洗过程中晶舟的侧边与清洗槽壁接触而受到损伤；此外，通过旋转盘带动晶舟转动，可以使晶舟得到充分的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶舟清洗装置，用于清洗晶舟，其特征在于，包括：清洗槽；用于承载晶舟的旋转盘，所述旋转盘设置在所述清洗槽底部；用于驱动所述旋转盘旋转的驱动装置，与所述旋转盘连接；设置在所述清洗槽内的喷管以及与所述喷管连通的若干喷头。
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