[实用新型]可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统有效
申请号: | 201120134547.2 | 申请日: | 2011-04-29 |
公开(公告)号: | CN202116648U | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 章晓冬;刘江波 | 申请(专利权)人: | 广州市天承化工有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C23F1/18 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 张玲春 |
地址: | 510990 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统,微蚀刻工作槽,用于蚀刻处理循环再用的铜和铜合金;药剂电解再生及回收金属铜系统,用于将工作后药剂的微蚀能力再生恢复,进行电解再生回收处理;以及将微蚀工作槽及电解回收及再生槽连接并实现自动化稳定控制的自动控制系统;药剂电解再生及回收金属铜系统与线路板生产线微蚀刻工作槽以管道相连,经过处理的药剂通过管道重新回到微蚀工作槽中继续处理工件。本实用新型的电路板微蚀再生循环设备可以降低微蚀刻工艺的生产成本,提高铜及铜合金表面微蚀刻工艺的水平,并达到清洁生产实现零排放的目的。 | ||
搜索关键词: | 循环 再用 铜合金 表面 蚀刻 处理 系统 | ||
【主权项】:
一种可循环再用铜和铜合金表面微蚀刻处理系统,其特征在于其包括:微蚀刻工作槽,其内部设置有待加工工件和微蚀刻药剂,用于蚀刻处理循环再用的铜和铜合金;药剂电解再生及回收金属铜系统,用于将工作后药剂的微蚀能力再生恢复,进行电解再生回收处理;以及将微蚀工作槽及电解回收及再生槽连接并实现自动化稳定控制的自动控制系统;药剂电解再生及回收金属铜系统与线路板生产线微蚀刻工作槽以管道相连,经过处理的药剂通过管道重新回到微蚀工作槽中继续处理工件。
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