[实用新型]靶材背板结构有效
| 申请号： | 201120123992.9 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN202063989U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 连汉滨 | 申请（专利权）人： | 柏夫企业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C16/44;C23C14/22 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 何为;袁颖华 |
| 地址： | 中国台湾高雄县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种靶材背板结构，包括上盖板与基板，该基板造有至少一焊道及至少一冷却水道、至少一进水端及至少一出水端；该上盖板形成至少一定位孔，该至少一定位孔相对应于基板上的至少一焊道；该上盖板与该基板沿着该焊道接合固定。可改善已知制作靶材背板的制程复杂且设备成本昂贵等缺点，并可达靶材背板低变形及内部冷却水道高密封的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 结构 | ||
【主权项】：
一种靶材背板结构，包括上盖板与基板，其特征在于：所述基板造有至少一焊道及至少一冷却水道、至少一进水端及至少一出水端；该上盖板形成至少一定位孔，该至少一定位孔相对应于基板上的至少一焊道；该上盖板与该基板沿着该焊道接合固定。
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