[实用新型]一种SiCl4气体加热装置

摘要

一种SiCl4气体加热装置，设有炉体，炉体上设有进气口和出气口，在炉体内壁上设有电加热排，炉体内设有与进气口和出气口相连接的换热盘管，换热盘管呈螺旋状盘绕成内、中、外三层换热柱，在内层换热柱与中间层换热柱之间设有内加热筒，在炉体内的顶部设有循环风机。外层换热柱与炉体内壁之间为气流下行通道，相邻换热柱之间为气流上行通道，循环风机设有与气流上行通道相对的吸风口，在循环风机的四周设有与气流下行通道相对应的导流板，炉体底部设有导流道。采用间接加热方式，并通过循环风机强制内循环，加热均匀，炉体不再与SiCl4气体直接接触，对设备腐蚀少，气体流动性好，无加热死角，设备使用寿命长，投资少。

主权项

一种SiCl4气体加热装置，其特征在于：设有炉体，炉体上设有进气口和出气口，在炉体内壁上设有电加热排，炉体内设有与进气口和出气口相连接的换热盘管，换热盘管呈螺旋状盘绕成内、中、外三层换热柱，在内层换热柱与中间层换热柱之间设有内加热筒，在炉体内的顶部设有循环风机。