[实用新型]大面积均匀束流辐照总剂量准确实时在线监测装置

摘要

本实用新型提供了一种大面积均匀束流辐照总剂量的准确、实时、在线监测装置，属于离子束技术应用领域。本实用新型通过在接收束流部件-金属筒外侧加装一接地金属屏蔽筒，完全屏蔽掉大面积束流打到靶室内壁上及其它物体上的离子产生的二次电子，以及散射离子可以被接收束流的金属筒接收；另外，本实用新型排除了抑制电压泄露电流对pA级弱流测量的影响，从而实现了对真空中大面积均匀束流的准确、实时、在线监测。

主权项

一种大面积均匀束流辐照总剂量准确实时在线监测装置，包括测束金属接收筒(3)和抑制电极(5)，其特征在于，在测束金属接收筒(3)外紧密嵌套一接地金属屏蔽筒(1)，测束金属接收筒(3)和金属屏蔽筒(1)之间设有一绝缘隔离层A(2)，在接地金属屏蔽筒(1)的端部固定一绝缘隔离层B(4)，抑制电极(5)固定在绝缘隔离层B(4)上。