[发明专利]用于制造包括悬浮隔膜的声波谐振器的方法有效
| 申请号： | 201110462242.9 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102545814A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | B·因贝特;E·德费;C·德盖;H·莫里索;M·皮约拉特 | 申请（专利权）人： | 原子能和能源替代品委员会 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造包括悬浮隔膜的声波谐振器的方法，所述悬浮隔膜包括压电材料层，其特征在于包括如下步骤：-产生第一堆叠，其包括位于第一衬底的表面之上的至少一个第一压电材料(CPiezo)层；-产生第二堆叠，其包括至少一个第二衬底；-在随后的键合步骤之前，通过控制尺寸的粒子的沉积或产生来制造至少一个非键合初始区域，将所述堆叠的其中一个的表面局部赋予投影纳米结构；-所述两个堆叠的直接键合产生了位于堆叠之间的气泡(CAV)，这是由于非键合初始区域的存在导致的；-薄化所述第一堆叠以消除至少所述第一衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 包括 悬浮 隔膜 声波 谐振器 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括悬浮隔膜，所述悬浮隔膜包括压电材料层，其特征在于所述方法包括如下步骤：‑产生第一堆叠，该第一堆叠包括位于第一衬底的表面之上的至少一个第一压电材料(CPiezo)层；‑产生第二堆叠，该第二堆叠包括至少一个第二衬底；‑在随后的键合步骤之前，通过控制尺寸的粒子的沉积或产生来制造至少一个非键合初始区域，将所述堆叠的其中一个的表面局被赋予投影纳米结构；‑所述两个堆叠的直接键合产生了位于堆叠之间的气泡(CAV)，这是由于非键合初始区域的存在导致的；‑薄化所述第一堆叠以消除至少所述第一衬底。
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